监控测溅射靶材涂镀层等的均匀性、密度分布
靶材表面电导率值与溅射靶材成品的均匀性、密度分布密切相关。均匀性差、氧化过度、密度不一都会导致电导率值产生浮动。
美国康宁公司是材料研究的领导企业,对采购的靶材有严格的质量把关。康宁通过使用我司的Sigma2008B型数字涡流电导率仪,在不破坏材料的情况下准确得检测出靶材的均匀性,解决了靶材质量无损检测的问题。
国内有多家专业靶材的制造商,一直苦恼于靶材质量的无损检测,在使用我司的Sigma2008B型数字涡流电导率仪对靶材的横向与圆周方向的电导率值进行监测,针对性的改善工艺后,成功的提升了靶材的质量。